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科学研究

SUSS MA6 Gen4光刻机
设备型号SUSS MA6 Gen4
机器状态正常
收费标准机时- -元/小时
所在地点集成电路科学与工程学院（浦口办学点）
联系方式
刘老师 15720610969
工艺分类
光刻
预约
主要规格&技术指标
主要功能及特色

  • 最大支持4寸基底；

  • 软接触曝光分辨率2.5μm，真空曝光分辨率0.8μm；

  • 正面对准精度±0.5μm，背面对准精度±1μm。


用于微米级别高质量图案成型。



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